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压阻式压力传感器的制造工艺概述

时间:2020-12-15 点击次数:

典型的压力传感器可以分为压阻、电容、压电、共振、伺服控制和CMQS集成等几种类型。压阻式压力传感器又称扩散硅压力传感器,其制造工艺简单,线性好,价格一般也比较低,但对温度比较敏感,有可能会出现温度漂移,而且灵敏度较低,典型产品的技术参数如下。

一是不同的工作原理。


压阻式压力传感器的制造工艺概述(图1)

采用单晶硅的压阻效应,构成压阻式压力传感器。

大多数压电式压力传感器都采用正压电效应来制作。

二是侧重点不同。

压电式压力传感器当晶体受到一个固定方向的外力的作用时,在其内部会产生电偏振现象,同时在两个表面上会同时产生符号相反的电荷;当外力被移走之后,晶体又回到不带电的状态;当外力的方向发生变化时,电荷的极性也会发生变化;晶体的电荷量与外力的大小成正比。

压阻式压力传感器以单晶硅片为弹性元件,采用集成电路工艺,在单晶硅膜片上沿一定方向扩散一组等值电阻,并将电阻接合到桥路上,将单晶硅片置于传感器腔中。单晶硅在压力变化时会产生应变,使得应变电阻直接扩散到上面,产生正比于被测压力的变化,然后通过桥式电路获得相应的电压输出信号。

三是结构不同。

压电式压力传感器是基于压电效应的传感器。其类型和型号多种多样,按其弹性敏感元件的形式和受力机构可分为膜片式和活塞式两种。隔膜式主要由本体、隔膜和压电元件组成。

压阻传感器采用集成工艺在单晶硅薄膜上集成电阻条,制作硅压阻芯片,并将该芯片的周边固定封装在薄膜内,引出电极引线。

压力表是用来测量工质压力的元件,其输出一般为连续模拟信号。压力开关是根据压力控制电路而关闭的元件,其输出通常为开关值。


压阻式压力传感器的制造工艺概述(图2)


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